碳化硅陶瓷(石墨、碳黑等。)加入到碳化硅中，然后埋入碳中，在1450烧制，使硅粉与碳反应生成低温-SiC，使原来的碳化硅颗粒结合。另一种方法：碳a化硅制品是由碳和金属硅直接反应生成的，即碳或碳和碳化硅成型，硅埋烧。两种方法都能生产出性能良好的碳化硅产品。由于产品一般含有8% ~ 15%的游离硅和少量的游离碳，使用温度低于1400。它的导热性和抗冲击性好，但强度、硬度和耐腐蚀性差。反应烧结碳化硅制品在烧结前后尺寸几乎不变，因此成型后可以加工成任何形状和尺寸，特别适合形状复杂的大型制品。